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期刊论文
电子级高纯氯研制成功
电子级高纯氯研制成功
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liruimei12345
【摘 要】
:
电子级高纯氯是我国电子工业当前急需的特种气体,主要用于半导体元、器件和大规模集成电路制造工序中的热氧化、反应离子蚀刻、晶体生长和MCVD法生产单膜光导纤维预制件,以及有
【作 者】
:
孔祥芝
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1987年4期
【关键词】
:
高纯氯
电子级
研制成功
大规模集成电路
反应离子蚀刻
基础科学研究
MCVD法
特种气体
电子工业
制造工序
光导纤维
晶体生长
尖端技术
导体元
热氧化
预
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电子级高纯氯是我国电子工业当前急需的特种气体,主要用于半导体元、器件和大规模集成电路制造工序中的热氧化、反应离子蚀刻、晶体生长和MCVD法生产单膜光导纤维预制件,以及有关工业、基础科学研究等尖端技术。我国过去使用的电子级高纯氯全部依赖进口。
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