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该文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti—si—N、Ti—B—N及Ti—Al—si—N纳米复合超硬薄膜,结合微观分析和宏观性能表征,给出了它们的纳米结构特征及其与力学性能的关系,基于工业运用背景,探索了纳米复合薄膜的热稳定性。
纳米复合超硬薄膜的结构、性能表征
【摘 要】
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该文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti—si—N、Ti—B—N及Ti—Al—si—N纳米复合超硬薄膜,结合微观分析和宏观性能表征,给出了它们的
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室慕尼黑工业大学无机化学研究所西安德国慕尼黑D-85747
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2004年1期
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