【摘 要】
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<正> 光照后可以导电的一种新型聚合物将预示着微电子技术领域中又一次革命。美国伯克利市加利福尼亚大学的化学家研制成功一种称之为芳化聚(对亚苯基硫)(APPS)的新型聚合物
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<正> 光照后可以导电的一种新型聚合物将预示着微电子技术领域中又一次革命。美国伯克利市加利福尼亚大学的化学家研制成功一种称之为芳化聚(对亚苯基硫)(APPS)的新型聚合物薄膜。利用这种聚合物可以在各种表面上为计算机芯片、平面电视屏幕、光拷贝和电子摄相等应用印制电子线路。 Bruce Novak和其同事在研究探索新型光敏抗蚀剂聚合物的过程中偶然发现了APPS的新奇性质。目前这种聚合物用于协助在硅片上蚀刻微型电路中。
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