【摘 要】
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逆导IGCT器件的关键技术在于实现GCT与FRD间的隔离。对比现有隔离技术,提出了一种补偿型横向PNP结隔离方法;经Silvaco仿真分析后,在4英寸与6英寸GCT芯片上开展了工艺和测试验
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逆导IGCT器件的关键技术在于实现GCT与FRD间的隔离。对比现有隔离技术,提出了一种补偿型横向PNP结隔离方法;经Silvaco仿真分析后,在4英寸与6英寸GCT芯片上开展了工艺和测试验证,结果表明该方法能有效提升隔离电压,并降低了隔离区的设计与工艺难度。
The key technique for the de-directing IGCT device is to achieve isolation between the GCT and the FRD. Compared with the existing isolation technology, a compensated lateral PNP junction isolation method is proposed. After Silvaco simulation analysis, the process and the test are validated on 4-inch and 6-inch GCT chips. The results show that this method can effectively improve the isolation voltage, And reduce the isolation zone design and process difficulty.
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