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为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器，结合国内电容微位移测量技术，完成厚膜陶瓷电容的结构设计。针对参数设计，采用正交实验法和Ansoft Maxwell有限元仿真软件的优化方法，完成了电容传感器的制备及样机的测试。测试实验结果表明传感器具有2．6085％的线性度。
静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制
【摘 要】
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为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器，结合国内电容微位移测量技术，完成厚膜陶瓷电容的结构设计。针对参数设计，采用正交实验法和Ansoft Maxwell有限元仿
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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中国科技论文
【发表日期】
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2014年1期
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