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针对电涡流传感器检测过程中受温度和电路干扰等因素引起的非线性问题,提出了基于支持向量机(SVM)理论的非线性补偿方法,分析了存在传感器测量值中的非线性特性,建立了以检测位移参数为输出,以电压参数为输入的SVM逆模型。通过实验数据仿真验证了SVM模型的有效性,测试样本的模型预测平均误差为0.075 1mm,达到了较好的线性度,实现了电涡流传感器非线性补偿的目的。