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区别于太阳能电池采用SiOx或AlOx与SiNx的叠层结构的背面钝化工艺,本文采用一种PERC太阳能电池的背面钝化工艺的新方法来叠层表面具有较高的固定正电荷。通过研究发现,优化后的新工艺制得的PERC高效电池具有更好的光电转换效率,较常规工艺电池片效率提高了0.4%。并对PERC高效电池的下一步优化和设计以及对工业应用提供了方法。