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基于ANSYS有限元分析软件,对微铣刀进行模态分析和应力变形分析,讨论微铣刀的刀头形状、悬伸量、刀杆直径、刀颈半锥角、刀头长径比等几何结构参数对其动力学性能的影响规律,对比D形、三角形、“一”字形等简单刀头截面形状结构及传统螺旋结构微铣刀的强度和刚度,进而获得微铣刀的几何结构优化参数。采用线电极电火花磨削的方式,在位放电制备出刀头直径约100μm、刃口锋利的D形微铣刀。