【摘 要】
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为了解扫描电镜测量结果的准确度，采用扫描电镜对光伏镀膜玻璃膜层厚度进行测量，对影响测量结果的不确定度分量包括重复性测定、设备分辨率、人员标记、标准样品、试验环境条件等逐一进行讨论，并对各影响因素的不确定度分量进行计算和合成，计算扩展不确定度。测量过程执行标准GB/T 20307—2006《纳米级长度的扫描电镜测量方法通则》。测量不确定度的评定结果表明：影响不确定度的来源主要有重复性测定、设备分辨率
【基金项目】
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江苏省市场监督管理局科技计划项目基金（KJ2022025）； 无锡市检验检测认证研究院院级课题（2023JYKJ014）；
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为了解扫描电镜测量结果的准确度，采用扫描电镜对光伏镀膜玻璃膜层厚度进行测量，对影响测量结果的不确定度分量包括重复性测定、设备分辨率、人员标记、标准样品、试验环境条件等逐一进行讨论，并对各影响因素的不确定度分量进行计算和合成，计算扩展不确定度。测量过程执行标准GB/T 20307—2006《纳米级长度的扫描电镜测量方法通则》。测量不确定度的评定结果表明：影响不确定度的来源主要有重复性测定、设备分辨率、人员标记、标准样品四方面，试验环境条件影响可以忽略。不确定度报告可表示为：测量值为117.7 nm，扩展不确定度U=7.5 nm，包含因子k=2。
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