【摘 要】
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提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺,设计了利用微镜构成的光学谐振腔。此结构具有小型化优势,可利用MOEMS工艺进行加工。理论分析了光源及谐振腔参
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺,设计了利用微镜构成的光学谐振腔。此结构具有小型化优势,可利用MOEMS工艺进行加工。理论分析了光源及谐振腔参数对陀螺基本探测极限的影响,指导参数设计,得到陀螺的极限灵敏度为1.54°/h。通过模式匹配理论对谐振腔型式进行了改进,减小了谐振腔损耗。进行了谐振腔原理验证实验,观察到谐振曲线。最后对微谐振腔的加工工艺进行了讨论。
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