【摘 要】
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利用分子束外延（ＭＢＥ）生长的高迁移率ＩｎＡｓ外延层成功制备了的薄膜Ｈａｌ器件。这种Ｈａｌ器件具有灵敏度高、温度特性好等优点。室温下的积灵敏度和电压相关的灵敏度分别为１１ｍＶ／ｍＡ·ｋＧｓ和４０ｍＶ／Ｖ·ｋＧｓ（灵敏度比相同掺杂的
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利用分子束外延（ＭＢＥ）生长的高迁移率ＩｎＡｓ外延层成功制备了的薄膜Ｈａｌ器件。这种Ｈａｌ器件具有灵敏度高、温度特性好等优点。室温下的积灵敏度和电压相关的灵敏度分别为１１ｍＶ／ｍＡ·ｋＧｓ和４０ｍＶ／Ｖ·ｋＧｓ（灵敏度比相同掺杂的ＧａＡｓＨａｌ器件高５０％）。在（２０～７０）℃温度区域内，内阻温度系数和Ｈａｌ电压温度系数分别为８×１０－４／℃，－２×１０－３／℃（恒流驱动）和－３×１０－３／℃（恒压驱动）。
Thin Films Hal Devices Successfully Fabricated by High Mobility InAs Epitaxial Layer Grown by Molecular Beam Epitaxy (MBE). This Hal device with high sensitivity, good temperature characteristics. The product-sensitivity and voltage-dependent sensitivity at room temperature are 11 mV / mA · kGs and 40 mV / V · kGs, respectively (sensitivity is 50% higher than for the same doped GaAsHal device). In the temperature range of (20 ~ 70) ℃, the temperature coefficient of internal resistance and Hal voltage are 8 × 10-4 / ℃, -2 × 10-3 / ℃ (constant current drive) and -3 × 10-3 / ℃ (constant voltage drive).
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