【摘 要】
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为全面验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标和性能，提出测试系统的一种综合试验验证方法，根据测试系统不同的验证阶段，分别从系统仪器技术指标测试试验验证、系统软硬件功能测试试验验证和系统集成电路测试能力试验验证三个阶段开展综合试验，并针对各阶段的验证方法开展测试系统的试验验证实例分析，验证实例结果表明该综合试验验证方法能够全方位验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标、功能性能以及测试能力，进
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为全面验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标和性能，提出测试系统的一种综合试验验证方法，根据测试系统不同的验证阶段，分别从系统仪器技术指标测试试验验证、系统软硬件功能测试试验验证和系统集成电路测试能力试验验证三个阶段开展综合试验，并针对各阶段的验证方法开展测试系统的试验验证实例分析，验证实例结果表明该综合试验验证方法能够全方位验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标、功能性能以及测试能力，进一步验证所述方法的可行性；该验证方法能够有效解决集成电路测试系统投入测试应用前的试验验证问题，也为新研集成电路测试系统的指标与功能性能验证提供一种有效的综合验证思路。
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