基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关的力学模拟和疲劳分析

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chinasun09

【摘要】

：

用ANSYS软件对RF MEMS接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系.在力电耦合分析的基础上

【作者】

：

李成诗郭方敏赖宗声葛羽屏徐欣朱自强陆

【机构】

：

华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,中国科学院上海技术物理所

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2004年10期

【关键词】

：

拟和驱动电压开关模型几何尺寸测试电极数据 ANSYS软件寿命接触 RFMEMS ANSYS coupledanalysis fatigueana

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金，上海市应用材料研究与发展基金

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用ANSYS软件对RF MEMS接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系.在力电耦合分析的基础上对开关进行了疲劳特性分析,得出了开关的循环使用次数并与实验结果进行了比较,分析了数据差别比较大的原因,改进了测试开关寿命的方法.

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