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1932年（英）查德威尔发现了中子。1936年,赫维西和利瓦伊提出中子活化分析,随后于1938年西博格及其合作者应用了带电粒子活化分析;但要,直到四十年代中期这种方法还被认为是相当稀奇的。随着1942年费米（美）原子反应堆点火,可得到1012中子/（厘米2·秒）左右的中子通量时,中子活化分析作为一种高灵敏度方法的可能性才迅速地得到确认，作为核技术之一的中子活化分析技术建立了。