【摘 要】
：
针对传统硅衬底介质损耗大的现象,通过软件电磁仿真手段分析不同电阻率硅衬底上微带线的传输特性,系统研究电阻率变化对硅衬底微波传输特性的影响,并与基于MEMS三维加工的低
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第三十八研究所
论文部分内容阅读
针对传统硅衬底介质损耗大的现象,通过软件电磁仿真手段分析不同电阻率硅衬底上微带线的传输特性,系统研究电阻率变化对硅衬底微波传输特性的影响,并与基于MEMS三维加工的低阻硅衬底进行比较。在30 GHz频率范围内,当硅衬底电阻率从10Ω·cm提升至4 000Ω·cm时,微带线插入损耗从20 dB/cm降低至0.6 dB/cm。电阻率大于100Ω·cm的高阻硅衬底微波传输特性优于带MEMS空腔的10Ω·cm低阻硅衬底。结果表明提升电阻率可有效降低硅衬底微波传输损耗,结合低成本成熟工艺等优点,高阻硅衬底具有广阔的微波集成应用前景。
其他文献
科学技术的日新月异,推动着互联网日益迅速的发展。很多行业都开始在互联网的大浪潮中受到影响,其中,教学也不例外。当今的高职英语教学中,依然存在很多传统的问题。而英语作
2月下旬,市人大常委会主任段春华分别到滨海新区相关企业和在建项目,实地检查指导督导疫情防控和复工复产工作。段春华先后来到渤化永利化工、中粮佳悦、中环半导体等国有企
法国是世界上建立教育督导制度最早的国家,在二百年的发展过程中,不断更新,锐意改革,在教育发展中发挥了独特的作用,形成了鲜明的特色:教育督导系统的职能不断调整和丰富,不
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
<正>创业团队成员与企业之间存在着一定的心理契约,这种心理契约可能会对创业团队的企业家精神、团队的稳定、创业绩效等造成重要影响,进而影响到新创企业的生存状况、成长速
<正>随着我国全民医保制度的逐步实施,商业补充医疗保险渐次引入,医疗服务竞争性格局初步形成。为确保医疗保险基金规范高效运行及医疗服务市场的公平竞争,医保基金监督的重
<正>1 病例资料患者女,54岁,因"双乳肿块"于2016年10月17日收入我院乳腺外科。入院诊断:左乳肿块:导管内乳头状瘤?纤维腺瘤?双侧乳腺增生并囊性增生。患者既往体健,无特殊用
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
2007年11月7日-8日,首届全国劳务品牌展示交流大会在河南省郑州市举办。这是一次中国劳务品牌的集中亮相,也是一次劳务供求的交流盛会。更为重要的是,它坚定了我国劳务经济的
科技语境是一种认知语境,强调意义的动态性和认识性。本研究以认知语境的特点为切入点,通过探讨科技认知语境的特点,尝试发现科技语境对科技英语汉译的影响。