论文部分内容阅读
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形射频微电感,研究了双层结构微电感中微带线宽度对其性能的影响.研究表明,双层悬空结构的圆形射频微电感不仅具有较大的电感量,而且其Q值也较高;双层微电感的Q值随微带线宽度的增大而升高,而电感量则随微带线宽度的增大而降低.对于微带线宽度为60μm的双层微电感,在频率2～4 GHz时,其电感量可达到5 nH左右,Q值达到20.