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报道了氟化氘（DF）激光系统腔镜高反射膜，CaF2窗口红外宽带增透膜和共孔径分光镜的研制，并介绍了DF腔镜高反射膜的热畸变和损伤实验测试结果。实验结果表明，DF腔镜高反射膜的损伤阈值大于100kW/cm^2,CaF2窗口红外宽带增透膜和共孔径分光镜均经受了200kW激光功率的输出，达到了总体提出的要求。