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对"ＧＫＪ－１．８ｍ激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析，用仪器的系统误差和随机误差合成的方法，评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度．
GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定
【摘 要】
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对"ＧＫＪ－１．８ｍ激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析，用仪器的系统误差和随机误差合成的方法，评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度．
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所!四川成都610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1999年S1期
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