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以氨-氟化铵缓冲溶液对含氟气体四氟化硅进行吸收,通过对不同温度、浓度及分压条件下对反应的吉布斯函数变进行计算,将热力学的规律应用于四氟化硅的氨法吸收反应中,对吸收过程各物质能量之间的转换进行分析,判断反应进行的方向和限度,对含氟气体吸收具有重要指导意义,并且从热力学的角度分析,采用氨法吸收含氟气体是可行的。