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采用化学共沉淀法制备了掺杂稀土铕的ATO纳米粉体。运用X射线衍射（XRD）测试方法对ATO粉体的结构进行表征,研究了滴定终点pH值、反应温度和热处理温度对粉体晶型结构、粒径和导电性能的影响,发现pH值为9、反应温度为60℃、600-700℃热处理温度下得到粉体的性能最佳。此温度下制备的ATO粉体的晶型结构较完整,粉体的电阻率为280Ω.cm,颗粒尺寸为33-34 nm。