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本文介绍了在真空镀膜中膜厚均匀度的理论计算和实际测量，并根据对膜厚均匀度的要求和作者多年的实践经验，提出了真空室内工件架的合理选择和最佳设计原则。
真空镀膜膜层厚度均匀性计算与工件架的设计
【摘 要】
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本文介绍了在真空镀膜中膜厚均匀度的理论计算和实际测量，并根据对膜厚均匀度的要求和作者多年的实践经验，提出了真空室内工件架的合理选择和最佳设计原则。
【机 构】
：
上海真空泵厂;
【出 处】
：
真空
【发表日期】
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1998年01期
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