从代理、到自己投入半导体尖端制程设备研发,汉辰科技董事长黄民奇,日前在捐赠先进半导体制程设备予台湾国研院奈米组件实验室的仪式后,很多人都说,半导体尖端制程设备研发是精密机械工业,但他认为,应该称之为“制程工业”才对!
　　黄民奇指出,身为设备开发者,当询问客户:“22nm,你需要什么?”之后,必须能够根据客户讲的需求,自行揣摩开发出一套设备,能够提供所需的制程技术。
　　“这过程中,最困难的是,你“没有参考点”!例如说,你的Energy为什么要那么大?而且还要“没有能量污染”(Energy Contamination Free)?想一想?这谁有呢?世界上没有!以汉辰的例子,开发过程中,想着要开发出Energy Contamination Free的离子植入机(Implanter),连物理学家都要加入,这不是机械工业呀!”,黄民奇说。
　　他强调:“整个原创的系统架构、可以达到制程需求的特性,才是制程设备工业的重点”,汉辰所努力的领域,是“Process industry not Machinery Industry”。
　　汉辰科技开发的离子植入机,最令产业界最跌破眼镜的是,该设备系统的技术原创性。其“能量过滤器”(Energy Filter),确保能量纯度,并做到能量零污染:另外,该设备还可以调整离子束的形状,以追求优化制程质量与效能。
　　黄民奇认为,台湾地区的机械工业,已经做得很好,也因此能够支持计算机及各种电子产品的发展。但制程工业重视的是,所开发出来的设备,可以做什么事?黄民奇表示,汉辰科技比较难得的是,在开发过程中,不是采取先模仿后改进的方式,而是迎头赶上,以原创的技术,开发出世界的级制程设备。他期望,透过汉辰与NDL的合作,可以产生很多国际级的研究成果。
　　曾在台湾地区准备发展半导体产业之初,被派往美国RCA取经受训的团队成员之一,现任NDL技术长戴宝通博士也特别推崇黄民奇董事长对于制程设备开发的贡献。他说黄民奇这么做,“不是只有事业,还是理想”。戴宝通指出,半导体前段设备太贵,技术太创新,唯有为了理想,才能撑得住!!