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本文介绍采用非光学方法实现剪切力检测和轻敲模式微振动检测。通过检测压电片上的电压输出，用作探针与样品间距控制信号，实现扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）光学探针与样品间距控制。文中给出了探针－压电片检测系统的频率特性，并比较了剪切力探测和轻敲模式探测特性的区别。在剪切力作用下探针在正负半周振动时受到的作用力是对称加的，谐振状态受剪切影响，随作用力增大振幅宫续减小。而在轻敲模式荼时探针受到非对称力作用，