短间隙磁控放电离子电流特性及影响因素研究

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传统Penning磁控放电理论测量真空间隙要求真空间距大于10mm,无法测量现有短间距1-7mm触发真空开关内部真空度。因此,本文实验研究了在短间隙1-7mm条件下,磁控管放电离子电流特性及其影响因素。实验结果表明,Penning磁控放电下随着气压由10-4Pa向10-1Pa增加时,离子电流波形由三角波逐渐向方波转变,并非呈一方波不变。在电场和磁场满足Penning磁控放电着火条件下,离子电流峰值只受电场影响,与磁场无关;离子电流脉冲宽度只受磁场的影响,与电场无关。离子电流峰值与电荷随气压的变化呈幂函数变
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