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在科技部高技术中心和上海市科学技术委员会主持下，国家“863”计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项专家组对上海光所承担的国家“863”计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项课题“纳米精度激光激振测振仪”课题进行了验收。
纳米精度激光激振测振仪
【摘 要】
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在科技部高技术中心和上海市科学技术委员会主持下，国家“863”计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项专家组对上海光所承担的国家“863”计划先进制造与自动化技术领域ME
【出 处】
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光学精密机械
【发表日期】
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2004年3期
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