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GaN材料及其有关光电子器件的研制是近年来光电子研究领域内的研究热点之一,而键合技术又是光电子集成研究领域内一项新的制作工艺.利用键合技术也可以研制出一些新型的光电子器件,这些器件用其他生长技术是不可能实现的.概括地介绍了近年来键合技术在GaN光电子器件及其集成领域内的研究进展和应用情况.
GaN材料键合技术研究进展
【摘 要】
：
GaN材料及其有关光电子器件的研制是近年来光电子研究领域内的研究热点之一,而键合技术又是光电子集成研究领域内一项新的制作工艺.利用键合技术也可以研制出一些新型的光电
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2003年6期
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