【摘 要】
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谱域OCT是实现微器件无损检测的一种有效光学手段,其检测精度对检测结果有着直接影响,为此对谱域OCT的检测精度进行了实验验证。分析了谱域OCT技术的检测原理,搭建了光纤结构的谱域OCT实验平台,并利用高反射平面镜作为样品进行了层析成像实验,获得了平面镜的一维散射势。通过分析散射势峰值的横坐标变化,并与平移台的实际位移进行对比,验证了谱域OCT理论及测量有效性。实验结果表明,该谱域OCT系统的测量结
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谱域OCT是实现微器件无损检测的一种有效光学手段,其检测精度对检测结果有着直接影响,为此对谱域OCT的检测精度进行了实验验证。分析了谱域OCT技术的检测原理,搭建了光纤结构的谱域OCT实验平台,并利用高反射平面镜作为样品进行了层析成像实验,获得了平面镜的一维散射势。通过分析散射势峰值的横坐标变化,并与平移台的实际位移进行对比,验证了谱域OCT理论及测量有效性。实验结果表明,该谱域OCT系统的测量结果与理论值基本一致,测量误差小于4.6%,能实现对物体的高精度无损快速检测。
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