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介绍传感器和测试系统的一个重要发展方向——微型(μm级)超微型(nm级)的发展方向。纳米超微电极可以直接插入单个生物细胞内进行测试,再将敏感元件做在超微电极内,便是超微传感器。电子隧道位移传感器可用来直接观察物件内的单个原子的情况,将它用在加速度传感器内,可使加速度传感器的分辨率从μg级一跃为ng级,效果非常明显。