【摘 要】
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为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题,提出了离子束刻蚀与飞秒激光复合加工技术.利用飞秒激光加工技术在碳化硅表面制备微纳结构图形,然后通过离子束刻蚀
【机 构】
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吉林大学集成光电子学国家重点实验室,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划(No.2017YFB1104600),国家自然科学基金(Nos.91423102,61590930,61435005),中国博士后科学基金(No.2018M631456)资助
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为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题,提出了离子束刻蚀与飞秒激光复合加工技术.利用飞秒激光加工技术在碳化硅表面制备微纳结构图形,然后通过离子束刻蚀技术对碳化硅微纳结构进行刻蚀,以调控结构的线宽和深度,使结构表面粗糙度由约106nm降低到11.8nm.研究表明,利用该技术制备的碳化硅菲涅尔波带片展现出良好的聚焦和成像效果.
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