【摘 要】
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阐述了多晶硅生产中氯硅烷提纯工艺中已经应用或者可能应用到的串塔精馏、多效精馏、隔板塔精馏和热泵精馏几种节能工艺的基本原理,分析了不同工艺的可行性.介绍了塔盘塔和填
【机 构】
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中国恩菲工程技术有限公司,北京泽华化学工程有限公司
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阐述了多晶硅生产中氯硅烷提纯工艺中已经应用或者可能应用到的串塔精馏、多效精馏、隔板塔精馏和热泵精馏几种节能工艺的基本原理,分析了不同工艺的可行性.介绍了塔盘塔和填料塔在多晶硅生产实践中的实际分离效果,分析了影响高效填料效率发挥的几个重要因素.将不同工艺和不同内件形式的优缺点进行了综合的比较,可以作为多晶硅用户新建或改造项目的参考.
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