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场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望。
碳基场发射冷阴极材料的研究
【摘 要】
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场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居
【机 构】
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薄膜与微细技术教育部重点实验室,华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2004年05期
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