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Influence of process parameters on band gap of Al-doped ZnO film

来源 :光电子学前沿 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aa70533028

【作 者】

：

Diqiu HUANG Xiangbin ZENG Yajuan ZHENG Xiaojin WANG Yanyan YANG 

【机 构】

：

School of Optical and Electronic Information, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 4

【出 处】

：

光电子学前沿

【发表日期】

：

2013年1期

【关键词】

：

Al-doped ZnO thin films band gap carrier concentration argon (Ar) flow rate sput 

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