【摘 要】
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从ＰＩＮ波导探测器性能参数的定义出发，阐述了各参数之间的内在联系，说明量子效率与带宽、灵敏度等物理量之间的矛盾现象。通过对具体结构及参数的分析比较，说明结构与参数之间的影响
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从ＰＩＮ波导探测器性能参数的定义出发，阐述了各参数之间的内在联系，说明量子效率与带宽、灵敏度等物理量之间的矛盾现象。通过对具体结构及参数的分析比较，说明结构与参数之间的影响方式以及ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格波导探测器的特有性质，进一步论证了波导探测器的优点
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