论文部分内容阅读
目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重，不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计，能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化，突破了传统电容薄膜真空计外形及质量限制，具有体积小、重量轻、功耗低、便于集成化等优点，成为真空测量仪器研究的热点，能更好地满足特殊条件下的真空测量需求。文章对MEMS型电容薄膜真空计的发展现状、技术特点等进行了探讨研究，并对其发展前景提出展望。