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采用AFM尖头探针、球头探针和平头探针对Si-DLC膜进行摩擦实验，研究了薄膜的微观摩擦力学性能，探讨了不同接触尺度下薄膜表面粘附力及摩擦产生的机理，建立了不同探针与薄膜表面粗糙峰的接触模型，推导了表面粘附力与接触面积的关系表达式，表明在微观接触中，接触面积对粘附力起着主导作用。尖头探针与薄膜表面的微观摩擦系数取决于表面粗糙峰的斜率，与粗糙峰的高度相关不大；球头探针与薄膜表面的摩擦力主要取决于单位面积接触粗糙峰密度；平头探针与薄膜表面的摩擦力主要取决于外加载荷，表面形貌的微观尺寸效应可忽略。