【摘 要】
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采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAIN涂层,通过扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等分析技术对其显微组织、成分、相结构、粗糙度及涂层
【机 构】
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河北工程大学,华中科技大学,天津大学
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采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAIN涂层,通过扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等分析技术对其显微组织、成分、相结构、粗糙度及涂层与基体间的结合强度进行了分析。结果表明,多弧离子镀TiN/TiAIN涂层后试样的表面为金黄色,涂层光滑平整,其均方根粗糙度为20.6 nm,显微硬度达到2808 HK。TiN相和TiAIN相均存在强烈的(111)择优取向。Al的含量从涂层内部到表面逐渐增大,呈现梯度分布特征。TiN/TiAIN涂层与金属陶瓷之间的结合强度高达57.52 N。
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