论文部分内容阅读
采用三氟乙酸盐-金属有机沉积（TFA-MOD）技术在LaAlO3（001）单晶衬底上沉积YBa2Cu3O7-x（YB—CO）超导薄膜，研究了低温热处理条件（涂覆环境相对湿度和升温速度）对前驱膜形貌和YBCO超导膜的影响。从金相显微镜（OM）和扫描电镜（SEM）观察可以看出，高涂覆环境相对湿度是引起前驱膜出现宏观裂纹的主要原因，前驱膜分解速度过快会造成薄膜中出现褶皱和微观裂纹，前驱膜出现不完整性形貌将会影响YBCO薄膜的成相、形貌和性能。通过优化低温热处理条件，获得了表面形貌完整的前驱膜，避免了在高温成相阶