硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究

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提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构,对其工作原理,器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析,得出分优化的结构参数,本结构的电容值比ADXL50加速度传感器大20倍以上,同时可避免器件与衬底材料的寄生电容,这种结构的传感器对界面电路的要求较低,更便于制出集成化处理电路。
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