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提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出分优化的结构参数，本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同时可避免器件与衬底材料的寄生电容，这种结构的传感器对界面电路的要求较低，更便于制出集成化处理电路。
硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究
【摘 要】
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提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出分优化的结构参数，本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1998年2期
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