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随着电子工业的飞速发展，高性能、大尺寸的氧化铟锡（ITO）靶材需求量与日俱增。本文概述了ITO靶材的制造技术和应用，并对目前国内外ITO靶材现状和发展进行了一定的分析和研究。
ITO靶材的制备应用及发展趋势
【摘 要】
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随着电子工业的飞速发展，高性能、大尺寸的氧化铟锡（ITO）靶材需求量与日俱增。本文概述了ITO靶材的制造技术和应用，并对目前国内外ITO靶材现状和发展进行了一定的分析和研究。
【机 构】
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宁夏东方钽业股份有限公司
【出 处】
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湖南科技学院学报
【发表日期】
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2007年12期
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