【摘 要】
：
工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加
【机 构】
：
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆大学微系统研究中心,重庆工学院汽车学院
论文部分内容阅读
工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等。结果表明：质量偏心会引起角位移变化,但对主轴刚度无影响,传感器不会有输出;在现有工艺条件下,可忽略梁厚误差的影响,但需严格控制梁宽误差;各种不对称方案对传感器主轴刚度和横向灵敏度的影响程度不同,不对称方案对横向灵敏度的影响随着不对称性的加剧而增大;非平行效应使得在相同外载荷作用下敏感轴向位移减小,但静态灵敏度
其他文献
膝关节软骨的慢性损伤临床较常见。Aroen和Curl等对自愿者连续进行的膝关节镜检查结果显示：60％以上的受检者存在软骨病变，11％～19％存在局限性软骨和骨软骨损伤，需行软骨修复治疗。但
目的：了解全牙列（牙合）垫在年轻恒前牙外伤脱位复位后的固定效果。方法：选择27例年轻恒前牙外伤后发生脱位的患儿，复位后采用全牙列（牙合）垫固定。结果：全牙列（牙合）垫能够有效地并符合
采用全息干涉术对不同洞型牙的受力变形进行了测量,结果说明新洞型具有明显优点.经254例临床观察与实验结果基本一致.
报道了提高孔洞结构压电驻极体膜压电活性的新方法。该方法是在对已膨化处理的压电驻极体薄膜再进行一次膨化处理，通过调节薄膜的力学性能来进一步优化材料的压电活性。结果表
本文旨在通过对当今艺术职业教育现状的分析,探讨艺术职业教育改革的必要性,并提出现代职业艺术设计教育教学实践课程改革应紧随时代步伐,以社会经济发展为引导方向,师生要以
目的:探讨体外冲击波碎石术(ESWL)治疗23例原位输尿管结石失败原因.方法:分析总结ESWL治疗23例失败的临床资料.结果:23例输尿管结石患者均再行输尿管切开取石术或腔镜下输尿