低矫顽力GMR磁传感器及其单畴模型的研究

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：augenthaler

【摘要】

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在硅片上制备结构为Ta/NiFeCr/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta的IrMn顶钉扎自旋阀薄膜，并最终制成了一组基于此自旋阀结构的GMR磁传感器芯片。利用弱磁场下的退火工艺，改变薄膜易磁

【作者】

：

刘鹏李伟叶双莉任天令刘理天

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2007年7期

【关键词】

：

巨磁电阻传感器自旋阀矫顽力退火单畴模型 GMR sensor spin valve coercivity annealing single do

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在硅片上制备结构为Ta/NiFeCr/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta的IrMn顶钉扎自旋阀薄膜，并最终制成了一组基于此自旋阀结构的GMR磁传感器芯片。利用弱磁场下的退火工艺，改变薄膜易磁化轴的方向，当退火温度为150℃、外加磁场为120Oe时，GMR芯片的矫顽力可以降至0.2Oe以下。同时建立了一种自旋阀自由层的单畴模型，用以解释这一退火效应。利用Mat-lab计算GMR芯片的Meff-H曲线，所得到的计算结果与实验结果一致。所以，自旋阀自由层易磁化轴的方向与GMR磁传感器的性能有着密

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