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期刊论文
大功率准分子激光器控制系统研制
大功率准分子激光器控制系统研制
来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:firemourne
【摘 要】
:
本文设计了一个智能化的激光器控制系统,它可以完成对准分子激光器正常工作时的技术参数的测量.该装置具有使用方便、成本低、误差小等特点,经过实际使用验证,工作稳定可靠,
【作 者】
:
樊友平
黄席樾
余吟山
【机 构】
:
重庆大学自动化学院重庆,中国科学院安徽光学精密机械研究所合肥
【出 处】
:
量子电子学报
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
准分激光器
参数测量
控制系统
excimer laser
measurement of characteristics
master-slave micr
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本文设计了一个智能化的激光器控制系统,它可以完成对准分子激光器正常工作时的技术参数的测量.该装置具有使用方便、成本低、误差小等特点,经过实际使用验证,工作稳定可靠,具有较好的实用价值.
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