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一台采用俄国式四组合磁四极透镜组成的长焦距扫描质子微探针具有良好的离子光学特性,它能在微区内同时进行PIXE、RBS、RFS、NRA和沟道效应等方面的应用研究。它的聚焦和二维扫描都由一台IBM-PC微机操纵。同时,一台基于Apple Ⅰ e微机的扫描图象监示仪能够方便地为寻找扫描区域提供实时图象监督。本系统采用快速随机事件的扫描方式和全定量扫描分析(TQSA)数据获取和处理方式。立体等高线等三种显示元素含量二维分布的作图法也是本系统的一个特点。