【摘 要】
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基于FEMAGSoft公司的EMAG-CZ热场仿真软件具有模拟提拉法生长单晶体的热场仿真功能,提出使用温度梯度分析热场,通过仿真证明热场设计合理,满足生长单晶棒的要求。
【机 构】
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西安理工晶体科技有限公司,西安理工大学,延安大学西安创新学院
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基于FEMAGSoft公司的EMAG-CZ热场仿真软件具有模拟提拉法生长单晶体的热场仿真功能,提出使用温度梯度分析热场,通过仿真证明热场设计合理,满足生长单晶棒的要求。
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