基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析

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基于FEMAGSoft公司的EMAG-CZ热场仿真软件具有模拟提拉法生长单晶体的热场仿真功能,提出使用温度梯度分析热场,通过仿真证明热场设计合理,满足生长单晶棒的要求。
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