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<正>航天十三所MEMS工艺线坐落于北京市海淀区永丰高新技术产业园,是航天十三所为新型惯性产业而专门建设的微纳加工平台,也是十三所发展军民两用产品的技术创新基地。工艺线采用先进的理念进行设计和布局,配有国际主流的仪器设备,面向硅基MEMS惯性器件的研制与批量生产,同时兼顾其它类型MEMS传感器的工艺制造能力。工艺线配置了光刻机、晶片键合机、深硅刻蚀机等一整套先进的MEMS微纳加工设备,可实