【摘 要】
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采用266nm或355nm的紫外激光器可以对微小的金属薄膜器件直接进行激光精密加工。但是,目前紫外激光器的输出功率普遍较低,以至于还不能对大幅面、深尺度的光泽金属进行激光加
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采用266nm或355nm的紫外激光器可以对微小的金属薄膜器件直接进行激光精密加工。但是,目前紫外激光器的输出功率普遍较低,以至于还不能对大幅面、深尺度的光泽金属进行激光加工。为了克服光泽金属对大功率固体激光器输出的1064nm激光的高反射率和散热快问题,采用了优化谐振腔和扫描聚焦系统的光学方法,实现了激光单模运转,功率密度达到了1.592×109W/cm2,由此也使得加工工件通过原子吸收激光能量的方式改变为通过金属中的自由电子的等离子体激射来吸收激光能量。在平均功率为50W、重复频率为500Hz、焦斑直径小于20μm、脉冲宽度为80ns、切割速度为10mm/s的加工条件下,对厚度为10mm的大尺寸紫铜板直接进行了激光精密刻蚀实验,切割的槽宽和槽深均为100±10μm;槽间距为300±15μm,均达到了初始设计的指标要求。
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