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介绍了一款自主设计采用0．25μmGaAsPHMET开关工艺制作的的S波段六位数控移相器芯片和金属陶瓷表贴管壳内的设计方法和研制结果。该移相器在工作频带2．8～3．6GHz内64个移相态的移相精度RMS1．0°、插入损耗，L〈5dB、输入输出驻波比VSWR＜1．5、幅度均衡AIL＜0．3dB、1分贝压缩输入功率大于25dBm、切换时间ton,toff均小于10ns。外形尺寸为10mm×10mm×2mm。