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用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验.用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片上刻蚀出分辨率为2 μm的微结构,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础.
亚稳态氖原子光刻的实验研究
【摘 要】
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用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验.用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片上刻蚀出分辨率为2 μm的微结构,为进一步的
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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