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磨料流加工（AFM）作为一种新型光整加工技术,加工一些内部形状复杂和尺寸较小的零件时有其独特的优势。为了便于对磨料流加工工艺进行更深入的实验研究,在分析其加工特点的基础上,研发一款电液联合控制的立式微型磨料流加工机床,该机床需具有结构尺寸小,但工作压力高的特点。为了确保其工作的可靠性,根据微型磨料流机床的结构设计方案,建立其三维模型,用ANSYS WORKBENCH软件进行整机静力学分析。据此分析结果预测微型磨料流机床工作时的变形量和应力分布情况,然后进行结构优化,并预测其承载能力,结果表明：其变形量和应