【摘 要】
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常规的n-GaAs AuGeNi/Au欧姆接触存在不少缺陷。本文提出在AuGeNi接触层与Au覆盖层之间加入扩散阻挡层WN。结果表明,新结构的金属化不仅降低了比接触电阻,而且具有良好的表面形貌;更重要的是,WN膜的引入有效
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常规的n-GaAs AuGeNi/Au欧姆接触存在不少缺陷。本文提出在AuGeNi接触层与Au覆盖层之间加入扩散阻挡层WN。结果表明,新结构的金属化不仅降低了比接触电阻,而且具有良好的表面形貌;更重要的是,WN膜的引入有效地阻挡了接触层与Au覆盖层中各种元素原子之间的相互扩散,提高了接触的可靠性。
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